基礎器件
光纖壓力傳感器
- 來源：
- 發布時間：2018-04-12
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通過MEMS技術及真空樣機鍵合工藝，利用超薄硅片的形變感受外界壓力的變化，通過采集硅片上反射回來的光信號，解算出硅片的變形量，進而得出外界壓力的大小。
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通過MEMS技術及真空樣機鍵合工藝，利用超薄硅片的形變感受外界壓力的變化，通過采集硅片上反射回來的光信號，解算出硅片的變形量，進而得出外界壓力的大小。
